科研实验用郑科探KT-PCS4Z 智能多路气体配比器厂家
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- 产品特性
腐蚀性气体质量流量计气体配比器，
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。
• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合国际通用的SEMI标准。
• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产品支持RS485，DeviceNet通讯方式。
• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
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产品型号 |
KT-C3Z |
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产品类型 |
高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 |
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可选量程 |
20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) |
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产品精度 |
高精度型±1％F.S |
普通型±1％F.S |
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重复精度 |
高精度型±0.2% F.S |
普通型±0.2% F.S |
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线性 |
高精度型±0.5% F.S. |
普通型±1% F.S. |
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响应时间 |
高精度型≤2sec |
普通型≤4sec |
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工作温度范围 |
(5~45)°C |
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供电电源 |
~85-265VAC 50/60Hz |
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功耗 |
40W |
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进气口压 |
≤0.6MPa |
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连接管道 |
316不锈钢管道 |
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截止阀类型 |
电磁阀 |
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单向阀开启压力 |
0.02Mpa |
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压力显示量程 |
0-0.6Mpa |
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控制方式 |
7寸触摸屏智能调节 |
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时间设定 |
0-32000分钟 |
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清洗功能 |
一键清洗 |
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程序控制 |
5段可编程序(时间-流量随意设定值) |
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压力显示 |
有（出气压力检测） |
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气体混合罐 |
有 |
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气体加热 |
无（可选配气体混合罐加热，加热温度室温-350℃可调） |
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流量累计 |
有（累计当前运行总流量） |
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可选进出气口接头形式 |
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 |
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抗电磁干扰 |
有 |
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外形尺寸 |
460X210X480 |
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重量 |
18KG |
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