以上为供应福润德牌frd-003半导体专用氧化扩散炉详细参数信息,供应福润德牌frd-003半导体专用氧化扩散炉图片由青岛福润德微电子设备有限公司提供,供应福润德牌frd-003半导体专用氧化扩散炉
- 产品特性
应 用:半导体集成电路及器件的扩散、氧化、合金、退火等工艺
工 艺:扩散(硼扩散、磷扩散等),氧化(干氧氧化、湿氧氧化-去离子水氧化、氢氧合成氧化等),退火,合金等等。
结 构:水平结构,垂直结构
晶圆规格:4"、5"、6"、8";
太阳能电池为125×125、156×156
工艺管数:水平结构为1-4管,垂直结构为1管
产品类型:生产型,科研型(R&D-小型)
产品等级:普通级(一般性的科研与生产)
标准级(国际通行技术标准及质量等级,如IC制造等)
工 艺:扩散(硼扩散、磷扩散等),氧化(干氧氧化、湿氧氧化-去离子水氧化、氢氧合成氧化等),退火,合金等等。
结 构:水平结构,垂直结构
晶圆规格:4"、5"、6"、8";
太阳能电池为125×125、156×156
工艺管数:水平结构为1-4管,垂直结构为1管
产品类型:生产型,科研型(R&D-小型)
产品等级:普通级(一般性的科研与生产)
标准级(国际通行技术标准及质量等级,如IC制造等)